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检验平台的检验方法及步骤

来源:凤远机械 发布时间:2025/7/1 13:26:32
以下是常见的检验方法及步骤:

一、常用测量工具

- 平晶:用于高精度(如0级、1级)平台,利用光的干涉原理检测。
- 水平仪:包括合像水平仪、框式水平仪等,通过测量倾斜角度换算平面度。
- 百分表(或千分表):配合表座(如磁力表座)和桥板,适用于中低精度平台。
- 激光干涉仪:高精度测量仪器,适用于大型或超高精度平台。

二、典型测量方法(以“百分表+桥板法”为例,适用于多数场景)

1. 准备工作
- 将平台平稳放置在坚实基础上,避免振动;待平台温度稳定(与环境温度一致)。
- 确定测量范围:按平台工作面尺寸划分网格(如50mm×50mm或100mm×100mm),标记测量点。
2. 安装仪器
- 将桥板(长度根据精度要求选择,如200mm)放置在平台上,百分表固定在桥板上,表头垂直触及工作面。
3. 逐点测量
- 移动桥板,使表头依次对准各网格点,记录百分表读数(以第 一点为基准,其他点相对该点的偏差)。
- 测量时需覆盖整个工作面,包括边缘区域。
4. 数据处理
- 采用“小区域法”或“对角线法”计算平面度误差:
- 小区域法:找到能包容所有测量点的小平行平面,两平面间距即为平面度误差(符合标准定义)。
- 对角线法:以平台两条对角线为基准,计算各点相对偏差,取大值与小值的差值作为误差(操作较简单)。

三、其他方法特点

- 平晶干涉法:将平晶贴合平台工作面,观察干涉条纹(如直条纹弯曲量对应平面度误差),精度高,但仅适用于小尺寸、高精度平台。
- 水平仪法:通过测量各方向倾斜度,换算成高度差后计算平面度,适合大型平台,但精度略低于百分表法。

测量结果需与平台精度等级对应的允许误差(如GB/T 22095标准)对比,判断是否合格。操作时需避免仪器自身误差(如桥板直线度、表的示值误差)影响结果。

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